二、光刻機(jī)企業(yè)分析
1.國內(nèi)重點企業(yè)
上海微電子深耕光刻機(jī)產(chǎn)品研發(fā)，承擔(dān)多項專項科研任務(wù)。目前公司光刻機(jī)產(chǎn)品主要包括IC前道光刻機(jī)、IC后道封裝光刻機(jī)、面板前道光刻機(jī)、面板后道封裝光刻機(jī)。作為國內(nèi)光刻機(jī)設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)航者，上海微電子承擔(dān)著國產(chǎn)光刻機(jī)設(shè)備的希望，若能實現(xiàn)光刻機(jī)設(shè)備的國產(chǎn)化，中國大力發(fā)展的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)必將邁上一個新臺階。
資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
2.光刻機(jī)零部件相關(guān)廠商
光刻機(jī)由光源、照明系統(tǒng)、物鏡、工件臺等部件組裝而成，相關(guān)環(huán)節(jié)企業(yè)進(jìn)度如下：
資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
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