中商情報(bào)網(wǎng)訊：光刻機(jī)是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細(xì)圖形通過(guò)光線的曝光印制到硅片上。為了避免在芯片產(chǎn)能爬坡時(shí)被外界的設(shè)備供應(yīng)給“卡脖子”，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)正在加快突破。
一、產(chǎn)業(yè)鏈
中國(guó)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈上游為材料、設(shè)備及組件；中游為不同類型光刻機(jī)，包括有掩膜光刻機(jī)和無(wú)掩膜光刻機(jī)；下游為應(yīng)用領(lǐng)域，包括芯片制作、芯片封裝、功率器件制造、LED、MEMS制造。
圖片來(lái)源：中商產(chǎn)業(yè)研究院
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