中商情報(bào)網(wǎng)訊：刻蝕機(jī)是重要性僅次于光刻機(jī)的半導(dǎo)體設(shè)備。當(dāng)前，我國(guó)刻蝕機(jī)行業(yè)相對(duì)來(lái)說(shuō)仍處于較為初級(jí)的發(fā)展階段，存在較大的發(fā)展?jié)摿Α?/p>
一、產(chǎn)業(yè)鏈
刻蝕機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈上游為四大組成部分，包括預(yù)真空室、刻蝕腔體、供氣系統(tǒng)及真空系統(tǒng)；中游為刻蝕機(jī)的制造，分為濕法刻蝕及干法刻蝕兩種；下游應(yīng)用包括半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池及其他微機(jī)械制造等。
圖片來(lái)源：中商產(chǎn)業(yè)研究院
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