中商情報網(wǎng)訊：近年來，國外出臺的出口新政將對中國半導體設備行業(yè)帶來很大的影響，但同時也帶來了前所未有的機遇，將不斷促進本國半導體設備行業(yè)的發(fā)展。
一、中國半導體設備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)上市企業(yè)整體情況
半導體設備上游為零部件及系統(tǒng)供應環(huán)節(jié)，中游為半導體設備制造環(huán)節(jié)。
零部件包括軸承、傳感器、石英、邊緣環(huán)、反應腔噴淋頭、泵、陶瓷件、射頻發(fā)生器、機械臂等，核心子系統(tǒng)包括氣液流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學系統(tǒng)、電源及氣體反應、熱管理系統(tǒng)、晶圓傳送系統(tǒng)、集成系統(tǒng)；各類半導體設備，主要包括光刻機、刻蝕設備、薄膜沉積設備、真空鍍膜設備、清洗設備、離子注入設備、涂膠顯影設備、CMP設備、熱處理設備等。
資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
代表性企業(yè)有北方華創(chuàng)、盛美上海、中微公司等。
資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
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